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直線電機(jī)
直線電機(jī)源自于勞倫茲法則(Lorentz),即利用電流(I)與磁場(B)的相互作用而產(chǎn)生推力(F), 加上本身磁鐵排列與多動(dòng)子的運(yùn)用,可實(shí)現(xiàn)行程不受限制與單軸多動(dòng)子的獨(dú)立運(yùn)動(dòng), 藉由搭配精密伺服回饋可輕易實(shí)現(xiàn)奈米定位精度的控制。
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直線電機(jī)源自于勞倫茲法則(Lorentz),即利用電流(I)與磁場(B)的相互作用而產(chǎn)生推力(F), 加上本身磁鐵排列與多動(dòng)子的運(yùn)用,可實(shí)現(xiàn)行程不受限制與單軸多動(dòng)子的獨(dú)立運(yùn)動(dòng), 藉由搭配精密伺服回饋可輕易實(shí)現(xiàn)奈米定位精度的控制。
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